·Î±×ÀΠȸ¿ø°¡ÀÔ
 
Ȩ > Ãë¾÷Á¤º¸ > Ãë¾÷°ø°í
ÀÛ¼ºÀÏ : 14-02-13 12:06
(ÁÖ) À¯ÁøÅ×Å©
 ±Û¾´ÀÌ : ÇаúÁ¶±³
Á¶È¸ : 1,797  
   eugenetech_application-1.xlsx (112.1K) [20] DATE : 2014-02-13 12:06:04
   ¼±Çà±â¼ú_¸ðÁý°ø°í_20140108-1.pdf (462.1K) [3] DATE : 2014-02-13 12:06:04
ÀúÈñȸ»ç(À¯ÁøÅ×Å©_¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ Á¦Á¶_www.eugenetech.co.kr ) ¿¡¼­ ¼±Çà±â¼ú¿¬±¸¸¦

ÃßÁøÇÏ°Ô µÇ¾î ÇöóÁ ¶Ç´Â ALD °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Áö½Ä°ú °æÇèÀÌ ÀÖ´Â Àü¹®°¡(½ÅÀÔ, °æ·Â)¸¦

ã°í ÀÖ´Ù.

 

¿ÃÇÚ, ÇöóÁ ±âÃÊ¿¬±¸¿Í ALD Si °øÁ¤°³¹ß·Î Ãâ¹ßÇϸç ÇâÈÄ, ±× ¿µ¿ªÀ» È®ÀåÇÒ °èȹÀε¥

 

ÇöóÁ ±âÃÊ¿¬±¸ ¹× ÀÀ¿ë

ÇöóÁ ¼Ò½º, RF ¾ÈÁ¤¼º, ÇöóÁ ¾ÈÁ¤¼º ¹× uniformity ¿¡ ´ëÇØ ¿¬±¸ÇÏ°í

½Ç Á¦Ç°[ÇöóÁ ÀÌ¿ë Àåºñ, PEALD, DRY Cleaning µî]À» °³¹ßÇÑ´Ù.

 

ALD Si °øÁ¤°³¹ß

±âÁ¸ÀÇ precursor ·Î´Â ALD °øÁ¤ ´ëÀÀÀÌ °ÅÀÇ ºÒ°¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡

Precursor / Hardware / Process ¸¦ ÀÏ°ý °³¹ßÇÏ°Ô µÈ´Ù.

 

µû¶ó¼­

¹°¸®/Àü±â/È­ÇÐ/È­°ø/À¯±âÈ­ÇÐ/Àç·á/±Ý¼Ó µîÀ» Àü°øÇÑ ÀηÂÀ» ´ë»óÀ¸·Î ½ÅÀÔ/°æ·Â »ç¿øÀ»

¸ðÁýÇÏ°í ÀÖ´Ù.