|
|
|
|
Ȩ > Ãë¾÷Á¤º¸ > Ãë¾÷°ø°í |
|
|
|
|
|
ÀÛ¼ºÀÏ : 14-02-13 12:06
±Û¾´ÀÌ :
ÇаúÁ¶±³
Á¶È¸ : 1,800
|
eugenetech_application-1.xlsx (112.1K) [20] DATE : 2014-02-13 12:06:04 | ¼±Çà±â¼ú_¸ðÁý°ø°í_20140108-1.pdf (462.1K) [3] DATE : 2014-02-13 12:06:04 |
ÀúÈñȸ»ç(À¯ÁøÅ×Å©_¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ Á¦Á¶_www.eugenetech.co.kr ) ¿¡¼ ¼±Çà±â¼ú¿¬±¸¸¦
ÃßÁøÇÏ°Ô µÇ¾î ÇöóÁ ¶Ç´Â ALD °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Áö½Ä°ú °æÇèÀÌ ÀÖ´Â Àü¹®°¡(½ÅÀÔ, °æ·Â)¸¦
ã°í ÀÖ´Ù.
¿ÃÇÚ, ÇöóÁ ±âÃÊ¿¬±¸¿Í ALD Si °øÁ¤°³¹ß·Î Ãâ¹ßÇϸç ÇâÈÄ, ±× ¿µ¿ªÀ» È®ÀåÇÒ °èȹÀε¥
ÇöóÁ ±âÃÊ¿¬±¸ ¹× ÀÀ¿ë
ÇöóÁ ¼Ò½º, RF ¾ÈÁ¤¼º, ÇöóÁ ¾ÈÁ¤¼º ¹× uniformity ¿¡ ´ëÇØ ¿¬±¸ÇÏ°í
½Ç Á¦Ç°[ÇöóÁ ÀÌ¿ë Àåºñ, PEALD, DRY Cleaning µî]À» °³¹ßÇÑ´Ù.
ALD Si °øÁ¤°³¹ß
±âÁ¸ÀÇ precursor ·Î´Â ALD °øÁ¤ ´ëÀÀÀÌ °ÅÀÇ ºÒ°¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡
Precursor / Hardware / Process ¸¦ ÀÏ°ý °³¹ßÇÏ°Ô µÈ´Ù.
µû¶ó¼
¹°¸®/Àü±â/ÈÇÐ/È°ø/À¯±âÈÇÐ/Àç·á/±Ý¼Ó µîÀ» Àü°øÇÑ ÀηÂÀ» ´ë»óÀ¸·Î ½ÅÀÔ/°æ·Â »ç¿øÀ»
¸ðÁýÇÏ°í ÀÖ´Ù.
|
|
|
|
|